中国光刻机坏掉，我们到底能不能修？

前不久，美国商务部主管工业与安全的副部长艾伦·艾斯特韦斯（Alan Estevez）在东京接受《日经亚洲》采访时表示，美国主导的对中国企业先进芯片制造设备的限制最终将阻止中国发展本土半导体产业的努力。

他指出，ASML的光刻机，以及三家主要美国芯片设备公司的蚀刻机、测量仪器等关键器材。在先进芯片领域，AMAT、LAM、KLA三家公司已经不卖新的制造设备和检测仪器了，也对中国断供了服务。

美国官员相信，中国7nm芯片现在还主要是用以前买的设备做出来的。他们押注中国没法造出这些先进设备，因此花了很多功夫限制各类高性能的仪器设备出口中国，“不留漏洞”。如最新的限制政策，将ASML的1980Di光刻机也加进来。

为了卡中国芯片脖子，连光刻机维修也盘算上了，关于这个问题，在业内也有了一些讨论，中国一旦光刻机坏掉，我们到底能不能修？

美国的算盘，中国光刻机坏掉，我们到底能不能修？

美国为了卡住中国半导体制造，此前要求荷兰ASML公司停止给中国提供EUV设备光刻机，今年10月份，美国的芯片禁令再次升级，其中对AI芯片、光刻机等提出了进一步的要求，特别是针对光刻机，DCO值限制变严，导致ASML之前能出口的浸润式光刻机NXT:1980Di也无法出口了。

同时美国的禁令中规定，像ASML对受限设备的维修，更换零部件，都需要许可证的，并不是买了就不受限制了。

根据此前的数据显示，ASML之前的一台高端的EUV光刻机的价格超过1.5亿美元，一台DUV光刻机约为1亿多美元，根据目前的最新数据显示，中国有1400台光刻机，如果全部坏掉而得不到维修，那么1400多亿美元就变成了废品，此招可能让中国损失巨大。

因此，美国的算盘是，如果没有维护和服务支持，中国进口的光刻机迟早会出现故障。

他们期望出口管制将导致中国之前购买的光刻机逐渐出现问题，从而削弱中国先进芯片生产能力。

在过去，其他国家曾经面临类似的局面，如俄罗斯的飞机因零部件短缺，不得不拆掉一些飞机，提供零部件给尚能飞行的飞机。

美国官员或许认为中国也会陷入类似的状况。然而，这个设想需要基于二个前提：一是中国晶圆厂无法找到原厂或替代的零部件，中国自己不会修这些设备，中国自己也找不到其它备用的零部件，只能找ASML来修，这样才会受限。其二，中国的光刻机零部件在近几年就会坏掉。

但事实是，一个对美国管制不利的因素是，芯片制造设备的生命周期很长，有些30年以上还在使用。新机器出问题，也许要5年。即使新设备出现问题，也可能需要很长时间才会影响整个生产链。

加上之前国内已经囤了太多的浸润式光刻机了，数据显示，今年前三个季度，从ASML进口的光刻机金额超过了400亿，其中浸润式光刻机的数量，可能达到了100台，所以囤积的产能绝对足够满足未来几年的需求。保守估计5年内不会坏掉，但5年内后，中国光刻机的进展或早就今非昔比。

那么回到第一个问题，我们自己能不能修呢？答案是很难，但是总有办法解决。虽然说EUV光刻机涉及到非常复杂和精密的技术和工艺，需要足够的专业人才和设备来进行维修。看看这张外国工程师维修光刻机的图，光设备与线路，复杂繁复，即便一件件组装起来，难度都不小，更何况还要设备串联一体，赋予智能操作。

但事实上，中国公司在各种芯片制造设备和仪器领域都进行了备选计划，即中国公司在所有的芯片制造设备和仪器方向上都进行了对标的准备。还有一个常见情况是，即使发生变故，也有一些有经验的服务人员以另外的方式继续提供服务或提供替代方案。

事实上，因为整机堵不住，零部件更难堵住了。因为厂家出于成本考虑，大多尽量使用通用零件，所以只要不是完全禁止对中国出口某一类产品，很多零部件都是可以通用的。

一个例子是，俄罗斯，古巴等出现的万国货，军用品用民用品替代等现象，主要是因为欧美对两国的全面禁运造成的。另外，被制裁国缺少相应的工业基础。

还有就是零部件的出口监控，要比整机更加困难的多，特别是民品。此前俄罗斯飞机零部件的困难，主要是突然被制裁，初期多少会出现来不及的。但随着时间推移，替代品，特殊渠道进口品等就都会出现了。伊朗被西方制裁多年后，用于石油管道的仿西门子的燃气轮机都做出来了。

另外，中国可能进行强力反击，中国的一个对策是，要求ASML扣除市场折旧率后全部回购售卖中国的光刻机，那么，这1400多亿美元的账单就塞到了ASML手中。

因为根据中荷双方售卖合同规定，ASML承担售后服务的义务，ASML全球副总裁、中国区总裁沈波日前表示，ASML的服务不光是对故障维修和让设备正常运转，很重要的一个附加值在于ASML团队能够配合客户的工艺做调整、优化，帮助客户实现其工艺要求，从而使客户能够在制造芯片过程中获得更好的良率和生产效率，更顺畅地把工艺窗口做好。

而ASML停止提供售后服务和提供零部件，那么ASML就违法了合约，就需要承担违约责任。

如此一来，美国的施压和中国的要求，就让ASML变成了夹心饼干，如果全部回购，1000多亿美元的二手货堆放仓库成了废品，世界是有几家公司能承受如此巨大的现金损失？

此外，如果在维修上被卡脖子，中国也可以掐断一些关键材料的出口，包括了金属或者石墨材料，实现重创对方高新科技制造业的目的。

盾构机技成功案例在前，从学会维修入手，是破局的一个路径

现在局面已经明确了，美国官员赌中国做不出芯片制造设备。而中国人虽然什么也不说，但是在努力研发。事实上，从维修入手，或许是解决光刻机难题的一个重要方向。

对于国内来说，自己学会维修，自己生产一些易损的零部件，其实也有利于逆向研发，过去盾构机的研发其实也是从对方撤回维修人员开始，国内盾构机技术落后了国外100年，曾经为了使用盾构机，不得不花费7亿元从德国租用。在购买国外的机器之后出现问题，聘请国外技术人员来维修，但是技术人员却处处提防，避免中国人后学技术。

为了不被卡脖子，国内集中了地质、土木、机械、力学、液压、电气控制和测量等多个领域的学者参与研究。最终，在2008年研制出了属于中国的复合式盾构机。后经过证实，中国的盾构机完全可以媲美外国进口的盾构机。随着国内盾构机技术的研发推进，目前我国自主研发的盾构机出口到了法国、丹麦、黎巴嫩等多个国家，销量连续三年稳居世界第一。